廣東愛晟電子科技有限公司生產(chǎn)的NTC熱敏芯片,具有高精度(精度可達(dá)±0.5%、±1%?!?%、±3%)、快速反應(yīng)、小體積(最小尺寸可達(dá)0.3*0.3mm)等特點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于紅外熱電堆、IGBT模塊、半導(dǎo)體模塊、集成模塊等。在模塊封裝環(huán)節(jié)里,引線鍵合是一個(gè)重要環(huán)節(jié),它是通過超聲焊、熱壓焊等方式形成引線與NTC熱敏芯片之間的連接。
一般情況下,金會(huì)作為主要的引線材料用于集成電路的鍵合。但目前,銅絲鍵合已經(jīng)替代金絲鍵合占據(jù)了主要市場(chǎng)(2017年,銅絲鍵合的市場(chǎng)份額已達(dá)到22%),銀絲鍵合的市場(chǎng)份額也在增加(2017年,銀絲鍵合的市場(chǎng)份額達(dá)到11%),并且這一變化仍在持續(xù)。
一、銅絲鍵合
從2008年開始,銅絲鍵合就逐漸發(fā)展起來,呈現(xiàn)出取代金絲鍵合的趨勢(shì)。越來越多的半導(dǎo)體工廠,都已成功地在多數(shù)集成電路中采用銅絲來替代金絲,用于熱敏芯片的鍵合。銅絲鍵合的工藝要求比金絲鍵合要嚴(yán)格得多,其包括未鍵合銅絲存儲(chǔ)、鍵合時(shí)保護(hù)氣氛控制、銅球形成形狀、金屬間化合物(IMC,Intermetallic Compound)生成等。雖然銅絲成本大概是金絲的20%,但是其工藝的附加成本更高一些。例如,銅絲不易形成金屬間化合物,鋁焊盤厚度至少為0.8μm,鍵合時(shí)的壓力比金絲大30%,容易導(dǎo)致焊盤脫落、形成彈坑或者介質(zhì)破裂等。為了解決上述問題,提高銅絲鍵合的可靠性,大部分工廠會(huì)采取增加通孔改善焊盤結(jié)構(gòu)、采用更高的超聲頻率等方法。
在高溫存儲(chǔ)試驗(yàn)中,銅-鋁鍵合金屬間化合物的生長(zhǎng)速度要比金-鋁鍵合慢,這就表明銅-鋁鍵合變化緩慢,其鍵合強(qiáng)度不易發(fā)生變化。而在高溫下,金-鋁鍵合的金屬間化合物的生長(zhǎng)速度快,總是伴隨柯肯達(dá)爾空洞的產(chǎn)生,導(dǎo)致鍵合強(qiáng)度降低。單從這個(gè)角度看,銅絲鍵合可靠性要高一些。但在高濕度存儲(chǔ)試驗(yàn)中,銅鋁鍵合的金屬間化合物容易受到塑封料中鹵素(如氯Cl,溴Br)的化學(xué)腐蝕或者電化學(xué)腐蝕,使銅-鋁金屬間化合物轉(zhuǎn)變?yōu)殂~、鋁的氧化物。
二、銀絲鍵合
基于銀層的鋁線鍵合早在1970年已被發(fā)明,其主要采用楔形焊進(jìn)行NTC熱敏芯片的鍵合,即第二焊點(diǎn)的主要鍵合方式。但銀絲鍵合在鋁金屬化上則是近10多年來的事,其市場(chǎng)份額從無到有,再到2017年時(shí)占據(jù)11%左右份額,僅次于金絲、銅絲鍵合。在2012年前后,銀絲鍵合不僅被應(yīng)用于動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(DRAM,Dynamic Random Access Memory)封裝、薄型小尺寸封裝(TSOP,Thin Small Outline Package),還開始被應(yīng)用于數(shù)字邏輯電路(DLC,Digital Logic Circuit)。一方面,銀絲成本比金絲低;另一方面,銀絲的工藝窗口要寬于銅絲,并且可以進(jìn)行反向鍵合(Reverse bonding),這使得銀絲鍵合被廣泛應(yīng)用于薄鍵合焊盤、易裂鍵合焊盤以及焊盤與焊盤連接。
然而,在短波范圍內(nèi),銀絲有著較高的反射率,機(jī)械性能相對(duì)較差,且更為重要的可靠性問題是銀-鋁接觸位置的腐蝕。銀絲材料的主要成分有幾種類型,包括純銀、含鈀(Pd)或金(Au)的合金(銀含量小于90%),主流的銀絲鍵合銀的含量為88%Ag,剩余為Pd和Au;采用合金是因?yàn)殂y和鋁的擴(kuò)散速度差異大,Pd可以減緩金屬間化合物的生長(zhǎng)速度。目前,為了進(jìn)一步降低成本,95%Ag合金的銀絲也開始使用,這使銀絲的成本比銅絲要低一些(最大約5%)。
銀絲鍵合的評(píng)價(jià)方式有兩種——高溫儲(chǔ)存試驗(yàn)(High Temperature Storage,HTS,通常溫度超過150℃)和濕度貯存試驗(yàn)(Humidity Storage)。除了常用的85℃/85%RH外,也有采用各種強(qiáng)加速應(yīng)力測(cè)試試驗(yàn)(highly accelerated stress test)、高壓蒸煮試驗(yàn)(Pressure Cooker Test,PCT)等評(píng)價(jià)方法。
高溫儲(chǔ)存試驗(yàn)采用150℃/1000h或者200℃/250h的高溫老化條件,通過對(duì)不同銀絲(銀純度為88%~99%)進(jìn)行試驗(yàn),在150℃~200℃溫度范圍并不足以使銀-鋁鍵合產(chǎn)生明顯退化,其電學(xué)特性良好且金屬間化合物相位沒有明顯改變,也沒有產(chǎn)生明顯的柯肯德爾空洞,這些表現(xiàn)要比金絲鍵合好。
三、不同鍵合引線材料的比對(duì)
在金絲、銀絲、銅絲三種材料中,金最軟,因此鍵合力最小,這樣不容易損傷焊盤;銅絲最硬,因此,銅絲鍵合工藝需要進(jìn)行參數(shù)優(yōu)化,保證既能夠形成金屬間化合物,又不損傷焊盤;銀絲的硬度則介于兩者之間。
實(shí)際上,在整個(gè)鍵合系統(tǒng)中,阻抗最大的是金屬間化合物,而非引線本身。銅絲鍵合的金屬間化合物(Cu9Al4, Cu3Al2),其電阻率為13~15(10~8Ω·m),銀絲的金屬間化合物(Ag3Al, Ag2Al)電阻率為10(10~8Ω·m),綜合下來看,銀絲鍵合阻抗只比銅絲鍵合高10%~20%。
廣東愛晟電子科技有限公司研發(fā)生產(chǎn)的高精度NTC熱敏芯片,適用于鍵合,可根據(jù)客戶要求定做特殊規(guī)格。
參考數(shù)據(jù):
微信公眾號(hào) 賽寶可靠性《銅絲、銀絲鍵合的發(fā)展及其可靠性》
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