通過《高精度、高可靠NTC熱敏電阻芯片的制造方法-1》，我們可以知道，高精度、高可靠NTC熱敏電阻芯片的制造方法可以提高芯片的1%成品率，可靠性也得到了明顯改善。該方法的具體步驟如下：

1）按照化學式MnNiFeCoQO稱量對應的金屬氧化物，混合球磨，煅燒成熱敏陶瓷預粉體；

2）將熱敏陶瓷預粉體與納米級熱敏陶瓷預粉體混合均勻制成混合物，并將該混合物和水混合制成漿料。其中，納米級熱敏陶瓷預粉體在混合物中的質量百分比為5-75wt%，水占混合物質量的20-30wt%；

3）將漿料壓濾成型為生坯，將生坯烘干，再將生坯等靜壓；

4）將步驟3）得到的坯體進行微波燒結；

5）將得到的燒結塊切片，上電極，在保護氣體氛圍下進行熱處理即可；

其中，納米級熱敏陶瓷預粉體中金屬離子的摩爾比和步驟1）中的化學式中金屬離子的摩爾比是相同的。

所述的納米級熱敏陶瓷預粉體是這樣制備的：按照步驟1）中的化學式中金屬離子的摩爾比，配成對應的金屬離子硝酸鹽溶液，使得各金屬離子的濃度為0.5-1mol/L，調節(jié)其PH=7，超聲噴霧干燥，再于400-500℃下煅燒2-6小時即可。

步驟3）中，所述的將漿料壓濾成型為生坯的過程中，是邊加壓，邊將水份排除。所述的等靜壓條件為：靜壓壓力100Mpa~380Mpa，保壓時間為1~5min。

微波燒結：將坯體置入微波爐中，以8-15℃/min的速率將溫度從室溫升溫到900-1100℃，保溫30-50min，再以1-3℃/min的速率降溫至450-550℃即可。

步驟5）中，熱處理的工藝為：在保護氣氛下，將上電極后的燒結塊切片，從室溫升溫到550-850℃，升溫速率為0.5-15℃/min，再保溫1-24h，再以1-3℃/min的速率降溫至室溫即可。

保護氣氛為氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣、氮氣中的一種。Q為Al、Cu、Zr中的一種，0≤t＜1，x≥0，y≥0，z≥0，且0＜x+y+z<3。

本制造方法有以下優(yōu)點：

1、采用超聲噴霧干燥制取納米粉體，通過原料混合搭配，同時配合其他工藝步驟，降低了生坯的燒結溫度，使得最后得到的坯體較為致密；

2、利用壓濾成型的方式制得NTC熱敏電阻生坯；

3、采用微波燒結技術，實現(xiàn)低溫、快速、高效的燒結；

4、采取了在保護氣氛下進行的特有的熱處理方式。